真空计泄漏检测方法:电离真空计方法

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真空计泄漏检测方法:电离真空计方法

* 来源: Cloud * 作者: YiQiSeo * 发表时间: 2019-05-29 18:43:35 * 浏览: 2
大多数高真空系统都有一个电离真空计,可用于泄漏检测。泄漏物质通过泄漏孔进入系统后,离子电流的变化由Kt和KA调节,分别代表仪表气体和空气的灵敏度常数,即Ie是灯丝发射电流,其余符号和公式(13-29)相同。通过公式(13-35)可以看出z *小的泄漏检测率。背景流Qo越小,灵敏度越高。如果抽速是恒定的,则背景压力Po越低,灵敏度Ibeta就越高,为1l值。灵敏度越大,灵敏度越小,灵敏度越高。根据系统压力的稳定性和测量线的稳定性,还需要对系统进行脱气,调节脱气,泵送速度应稳定,发射电流应稳定,离子电流噪声放大器应该很低。例如,当Po = 10Pa,SA = 10L / s,并且= 0.02时,如果检测到氢泄漏,p:0.5,则已知qA,min = 4x,10 ^ -5Pa.L / S.当泄漏气体流动特性处于非分子流动状态时,获得了类似的结果。当泵送速度不受流动阻力限制时,应根据等式(13-32)计算。以上所有结论基本上适用于磁放电真空计。